非接触二维台阶/厚度（粗糙度）测量仪
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- 发布时间：2023-05-24 13:37
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THINKFOCUS一直致力于高精度光谱共焦测量技术的研发，搭载高精度压电扫描机构的CLS-3000二维轮廓仪将光谱共焦的精度发挥到了极致，实现了重复精度10nm，绝对精度20nm的超高精度测量。
突出特点
◆ 更低成本——是传统接触式轮廓仪1/2到1/3价格
◆ 更小体积——是传统接触式轮廓仪1/4体积，方便系统集成
◆ 更小测量光斑——测量光斑2um
◆ 更高精度——10nm重复性、20nm测量精度
◆ 非接触式测量——不会划伤样品表面，没有探针损耗
主要应用于：油墨厚度测量，MLCC厚度测量，厚膜电路测量，银浆厚度测量，激光刻蚀测量，涂胶厚度测量，半导体、特种材料表面粗糙度测量等。
非接触二维台阶/厚度（粗糙度）测量仪
设备主要功能
设备采用压电扫描方式、非接触测量段差，厚度，粗糙度等。
扫描方式：
1、压电扫描台带动测头扫描，样品固定。
2、测头固定，压电扫描台带动样品移动扫描。
规格参数：
| 传感器测量速度 | 2-20mm/s（可调） |
| 测量点间距 | ≥5μm自由设置 |
| 传感器器Z轴量程 | ±55um |
| 传感器分辨率 | 0.001um |
| 测量光斑 | φ2um |
| 测量精度 | 20nm（测量标准台阶） |
| 电动扫描台行程 |
高精度有效行程20mm（机械行程30mm） |
| 机台台面尺寸 | 根据实际需要定制 |
| 扫描重复精度 | 0.01μm |
| 压电扫描台分辨率 | 0.05um |
非接触二维台阶/厚度（粗糙度）测量仪
配置方案
非接触二维台阶/厚度（粗糙度）测量仪
机台选择
可以选择龙门式的机台，也可以立臂式，或者只选购压电模组，自行集成使用。
单独压电模组
龙门式机台
立臂式机台
非接触二维台阶/厚度（粗糙度）测量仪
测量软件功能介绍（支持中英文双语）
压电扫描台控制、采集测量软件
● 设置扫描起始位置及其他参数，点开始测量即可获取轮廓。
● 数据处理；若获取的轮廓有明显倾斜的时候，可以进行校平处理。可对获取的轮廓进行简单是数据处理，以获得更加有效的轮廓曲线。可设置上/下限，自动判断是否合格。
非接触二维台阶/厚度（粗糙度）测量仪
测量软件功能介绍
压电扫描台控制、采集测量软件
● 可以扫描测量段差，粗糙度，曲率半径等等。
● 对于每次扫描的测量值可以手动记入表中或自动记录在表中，并且可以导出表格。
● 每次扫描轮廓原始数据可以自动保存，生成.csv表格。
上图为记录测量结果导出的表格。
非接触二维台阶/厚度（粗糙度）测量仪
精度测量验证方式
★ 阶规——1/5/10/30/50um标准台阶
★ 平晶——平面度0.03um平面平晶
★ 三丰粗糙度量块
阶规
平晶
粗糙度量块
阶规——1/5/10/30/50um标准台阶
阶规——校准报告
平晶——平面度0.03um平面平晶
OP1传感器测量平晶-验证结果
以下数据为扫描同一位置5次，扫描行程10mm。
◆ CLS-3000 OP1测量值：0.002um
◆ CLS-3000 OP1测量值：0.008um
◆ CLS-3000 OP1测量值：0.004um
◆ CLS-3000 OP1测量值：0.002um
◆ CLS-3000 OP1测量值：0.008um
三丰粗糙度量块
OP1传感器测量粗糙度量块-验证结果
三丰的粗糙度量块：RA 0.41um
测量结果：0.427um
三丰的粗糙度量块：RA 2.93um
测量结果：2.897um
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