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光谱共焦技术测量原理

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光谱共焦技术测量原理

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产品描述
参数

光谱共焦技术测量原理

利用波长信息测量距离

 由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。

 

规格/测头

CDS-500   OP1 OP2 OP3 OP4 OP4L OP5 OP6 Pro4 Pro5
安装距离 mm 8 11 15 24 29 37 204 24 67
量程 μm ±55 ±190 ±600 ±1850 ±2000 ±5500 ±5000 ±2000 ±5000
最大倾角 deg ±45° ±28° ±29° ±21° ±19° ±14° ±7.5° ±45° ±16.5°
放大器型号   Fc Fc Fc Fe Fd Fd Fe Fd Fc Fc Fd
光斑尺寸 μm 2 10 11 20 12 22 40 24 36 15 45
位移测量  
分辨率 nm 2(8) 5(20) 10(40) 20(80) 20(80) 24(94) 150(600) 150(600) 500(1000) 20(80) 150(600)
精度   ±0.02%F.S.(F.S.=量程)
厚度测量  
最小厚度测量 μm 5 12 22 66 66 78 192 192 200 66 192
最大厚度测量 μm 100 511 1694 5500 5500 5998 17078 17078 16500 5665 13514
长度 mm 208 176 176 130.5 145.5 145.5 130.5 145.5 180 261 241
重量 kg 0.49 0.30 0.40 0.23 0.25 0.25 0.25 0.25 0.6 1.62 1.38
直径 mm 27/40 27 27/32 27 27 27 27 27 27/65 27/93.4 27/56

 

规格/控制器

型号 CDS-500
采样频率 200 to 4500 points/sec 用户可定义
光源 蓝色激光
测量模式 位移/厚度
通讯控制 以太网
编码器 增量式(A/B项)
同步I/O 1 Trigger input(TTL)5V
光纤连接器 FC/APC
兼容性 兼容所有型号测头
电源/功耗 24V DC 3A
工作温度 5℃-40℃
放置温度 -30℃-70℃
相对湿度 5%-80%无冷凝
防护等级 IP 40
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

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