光谱共焦位移传感器
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测量要求 扫描锂电池电极的三维表面，提取profile测量其表面粗糙度
主要特点概览 1.非接触式测量，一体化设计
2.三维形貌扫描，多功能数据处理 3.适用于各种材料的精确测量
4.使用简单，装拆方便
5.扫描速度快，定位精度高
6.±0.5到±1μm重复精度保证
7.稳定性高，抗干扰能力强
测量结果 表面粗糙度Ra约为1.2μm
解决现阶段测量装置存在的问题
1.对测量材料有一定要求 2.接触式测量，对测量材料有损坏 3.测量范围小，位置不确定，测定困难 4.测量速度慢、精度低，测量误差大 5.结构复杂，成本高
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